蘇全民, 中國科學院沈陽自動化研究所研究員，國家特聘專家，全國顯微鏡協會理事。1988年中國科學院合肥固體物理研究所博士，同年赴德國KFA研究中心進行博士后研究，隨后分別在馬里蘭大學，Raytheon System任職，并于1999年加入Veeco/Bruker布魯克，專注原子力顯微鏡(AFM)產品研發,于2017年全職回國?；貒皳蚊绹剪斂斯靖呒壖夹g總監，領導原子力顯微鏡技術和系統的研發。蘇全民是55 項美國授權專利的發明人，領導開發的產品曾獲 R&D 100（2002）和 Microscopy Today（2012） 年度最佳產品獎，并在納米研究，磁儲存和半導體產業中得到廣泛應用。蘇全民發表了80多篇論文；并組織了“Seeing at the Nanoscale”系列國際會議，擔任各種國際會議的分會主席，如MRS ， M&M， AVS等。

    劉連慶，沈陽自動化所機器人學國家重點實驗室研究員，主要研究方向：類生命機器人，微納機器人，智能機器與系統。在 Nature Communications、Science Advances、IEEE匯刊期刊發表論150余篇，26篇論文被Lab on a chip, Engineering, Small, IEEE TBME等選為封面故事，5 次獲IEEE-ROBIO等國際會議最佳論文獎。研究成果先后入選美國實驗室自動化與篩選學會年度十大技術突破 (2017 SLAS TOP 10)和中國智能制造十大科技進展(2020)。獲得中科院卓青項目(2015)、國家自然科學基金優秀青年基金(2015年)、杰出青年基金(2019年)等人才項目支持；當選IEEE機器人與自動化學會副主席(2018-2019)、資深顧問(2020-2021)，擔任國家機器人標準化總體組秘書長、“智能機器人”國家重點研發計劃總體組專家、中國自動化學會機器人專業委員會主任委員、共融機器人專業委員會副主任委員、中國機械工程學會機器人分會副總干事、中國微納米學會微納機器人分會副理事長等。獲IEEE機器人與自動化學會青年科學家獎(IEEE RAS Early Career Award) ，中國自動化領域年度人物，首屆熊有倫智湖優秀青年學者獎，中國科學院盧嘉錫青年人才獎，中國科學院院長優秀獎，遼寧省青年五四獎章，遼寧省五一勞動獎章等榮譽。

    原子力顯微鏡（AFM）建立于探針與試樣在納米尺度局域化相互作用的傳感和測量的基礎上，廣泛應用于納米尺度精測，粗糙度，以及其他物理和化學性能測量。本次報告在闡述AFM技術進展的基礎上著重討論其面臨的挑戰，包括測量試樣，測量尺度和納米加工。在測量試樣方面，如何解決超大光學器件和大型平板顯示的原位納米測量的需求和系統穩定性的矛盾；在測量尺度方面，如何解決半導體工藝前端的先進結點的有限空間（如Nanosheet FinFET結構）和探針物理作用場分布的矛盾；在納米加工方面（如EUV掩模修復），如何解決同一探針測量與加工的矛盾。報告針對上述矛盾進行了進一步探索，形成了解決機械回路穩定性，局域物理相互作用的精準控制和測量加工一體化的系統解決方案。最后我們將對大型復雜曲面原位測量的初步結果以及尺度精測與掩模修復加工的應用結果進行分析和討論。

    大自然億萬年的進化使得生命系統具備具備了與生存環境相適應的組織、器官和結構，這為人類的技術創新提供了無限的想象空間，成為人類取之不盡用之不竭的靈感來源。以仿生學為基本思路，機器人研究取得了令人震撼的迅猛發展。然而生命系統如此精妙，仿生學意義上的人工系統很難完全復現生命系統的本征特性，如何進一步提升性能，讓人工系統逼近乃至超越生命系統是當前科技界的研究熱點。本報告提出類生命機器人的研究理念，通過生命系統和機電系統在分子和細胞尺度的融合，推動機器人系統由非生命介質向生命介質轉變，使得機器人同時具備生命系統和機電系統的優點，進而提升機器人的各種性能、帶動機器人學科的發展。報告將以感知、驅動和智能為例，介紹如何以活體細胞為物質載體，通過與機電系統的結合，實現生命本征感知、驅動和智能，演示出類生命機器人理念的先進性和效果。